主营
加热式电容膜片真空计
SKY@CDG160D/CDG200D
INFICON SKY CDG160D和CDG200D 高温压力计是实现
精确总压测量与控制的理想之选。CDG160D 和CDG200D
真空计温度分别控制在160°℃和200℃,具有的性
能，适用于苛刻的半导体和等离子过程。在1托至1000托
满刻度范围内均可使用，带有所有常用类型的法兰和现场
总线接口，能够提供0至10伏、不受气体类型限制的线性
压力信号。INFICON 电容式压力计采用超纯氧化铝陶瓷隔
膜，具有防腐蚀性。陶瓷传感器具有信号稳定性更佳、从
大气恢复的速度更快、预热时间短和使用寿命长等诸多优
势 。INFICON CDG压力传感器品质本效
益，适用于苛刻的半导体、等离子和真空应用。
优势
·拥有成本更低，预热速度快50%,节能，低功耗
·易于集成，各种满刻度、法兰和接口，标配两个设定点
·轻松一键调零或远程信号调零指令，可调零点偏移
·诊断端口用于快速维修和维护
·两年保修服务， HT 加热概念和真空计保护延长了使用寿
命
的信号稳定性和可重复性，即使是最严苛的等离子
应用，都无需长期执行重新校准
·合规和标准：CE、EN、UL、SEMI、RoHS
应用范围
·蚀刻、CVD、PVD及其他半导体生产过程
·化学和腐蚀性高温过程
·需要真空计保护的一般薄膜和真空过程
SKY@CDG160D/CDG200D
1) 优化的压力控制信号滤波器设置
2) 不能使用现场总线接口
粗体=标准产品
其他法兰类型可按要求提供。
SKY@CDG160D/CDG200D
规格(以托为单位的标准产品)
测量范围 | 托 | 1000 |
|
|
FS(满刻度) | 毫巴 帕 | 133,322 1333 | 13,332 1,333 133 13.3 | 133 1.3 |
精度1) | 读数% | 0.4 | ||
温度效应 | ||||
需点 | %FS/℃ | 0.005 | ||
满量程 | 读 数 % / ℃ | 0.02 | ||
最大压力 | 千帕(绝对) | 400 | 260 260 | 260 |
分辨率 | %FS | 0.003 | ||
读数 | %FS | 0.01 | ||
建议的读数 | %FS | 0.05 | ||
建议的控制 压力 |
%FS |
0.5 | ||
温度 | ||||
运行(环境)? | ℃ | +10 .+50 | ||
在法兰处烘烤 | ℃ | ≤200 | ||
存储 | ℃ | -20 .…+65 | ||
电源电压 | +21 …+30伏(直流)或±15伏(±5%) | |||
加热时功耗 | ||||
CDG160D | W | ≤18 | ||
CDG200D | W | ≤25 | ||
运行温度时的功耗 CDG160D CDG200D |
W W |
≤12 ≤18 | ||
输出信号(模拟) | 伏(直流) | 0.…+10 | ||
响应时间3) | 毫秒 | 30 | ||
防护等级 | IP 40 | |||
标准 CE符合性 ETL认证 SEMI合规性 |
EN 61000-6-2、EN 61000-6-3、EN 61010 UL 61010-1、CSA 22.2 No.61010-1 SEMI S-2 | |||
电气连接 | D-Sub,15针，公头 | |||
设定值 | 2个设定点(SP1、SP2) | |||
继电器触点 | 伏(直流)/安(直 | ≤30/≤0.5 | ||
滞后 | 流 ) %FS | 1 | ||
诊断端口 协议 读 设置 暴露于真空的材料 |
RS232-C 压力、状态、ID 设定点、过滤器、调零、出厂设置复位、直流偏置 氧化铝陶瓷(Al?O?)、不锈钢(AISI 316L?) |
1)在25°℃环境运行温度下表现为非线性、滞后、再现性，运行两小时后无温度效应
2) 环境温度>40℃,可能会使表面温度高于SEMIS2 合规水平—标记“小心烫伤!”
3)增加10.…90% FS
4)18%Cr、10%Ni、3%Mo、69%Fe
SKY@CDG160D/CDG200D
SKY@CDG160D/CDG200D
DEVICENET规格
DeviceNetTM | ||
协议 | DeviceNetTM,仅第2组从属 | |
数据率开关 千波特 | 125、250、500或可网络编程 | |
电缆长度 125 kbps 米(英尺) 250 kbps 米(英尺) 500 kbps 米(英尺) |
500(1650) 250 (825) 100 (330) | |
MAC ID | 两个开关(地址00-63)或可网络编程 | |
数字功能 | 读取压力，选择单位：托、毫巴、帕 脱气功能，皮拉尼满刻度调节 监测真空计状态 安全状态允许定义出错时的行为 详细的警报和警告信息 | |
模拟功能 | 0 …10伏模拟输出压力指示 两个设定点继电器A+B | |
视觉通讯指示灯 | LED网络状态(绿色/红色) LED模块状态(绿色/红色) | |
规格 | DeviceNetTM“真空计设备概况” | |
设备类型 | “CG”表示组合仪表 | |
/O从属传讯 | 只轮询 | |
设定点继电器 范围 继电器触点 滞后 触点额定值 |
毫巴
读数% 伏/安(直流) | 2 1×10°…100 常开，无电势 10 60/0.5 |
DeviceNetTM的电源电压 真空计的电源电压 DeviceNetTM的连接器 | 伏/安(直流) 伏/安(直流) | +11-+25/0.5 +20 -+28/0.8 微型，5针 D-Sub,15针，公头 |
真空计的连接器(模拟输出、电源电压、 设定点 | ||
PROFIBUS
Profibus
D规格
DP
波特率 | 千波特 兆 波 特 | 9.6/19.2/93.75/187.5/500 1.5/12 |
地址 | ||
两 个 开 关 ( 地 址 0 0 - 1 2 7 ) 或 可 网 络 编 程 | ||
数字功能 | 读取压力，选择单位：托、毫巴、帕 脱气功能，皮拉尼满刻度调节 监测真空计状态、灯丝状态 安全状态允许定义出错时的行为 详 细 的 警 报 和 警 告 信 息 | |
模拟功能 | 0…10伏模拟输出压力指示 两 个 设 定 点 继 电 器 A + B | |
设定点继电器 | 2 | |
范围 | 毫巴 | 1×10?.…100 |
继电器触点 | 常开，无电势 | |
滞后 | 读 数 % | 10 |
触点额定值 | 伏/安(直流) | ≤30/≤0.5 |
Profibus DP的连接器 | D-Sub,9 针，母头 | |
BPG 的连接器(模拟输出、电源电压、设 定 点 ) | D-Sub,15 针，公头 |
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