多级衍射光学元件(DOE)、自由曲面微透镜阵列是光通信波束整形、模场转换、阵列耦合里的关键器件。传统灰度掩模光刻、多层套刻工艺,需要制备灰度掩模或者多次光刻套刻,套刻之间存在对准误差,台阶轮廓容易失真,工序繁琐,良率管控难度高。能不能一步扫描成型连续多级高度变化的衍射结构,是微光学制造领域持续探索的方向。

纳糯三维科技(上海)有限公司,推出搭载 2GL® 双光子灰度光刻技术的 Quantum X litho 系统。2GL® 将灰度调制能力和双光子聚合技术结合,属于无掩模灰度直写方案,依靠扫描过程中动态调节激光体素尺寸,单次扫描路径即可成型带有连续高度变化、多级台阶的 2.5D 微光学结构,不需要多层套刻、不需要灰度掩模版。
产品与服务:
纳糯三维科技在中国市场主要推广 Nanoscribe 的一系列 3D 打印设备,如 Quantum X align 系统等,这些设备可广泛应用于微光学、微机械、生物医学工程、光子学技术等领域。此外,公司还承担着系统安装、维护及专业培训等本土化服务,为中国客户提供了全面的解决方案。
市场地位:
Nanoscribe 在全球 30 多个国家拥有 1500 多名用户,其中包括哈佛大学、加州理工学院、牛津大学等名校。纳糯三维科技作为其中国子公司,有助于进一步扩大 Nanoscribe 在中国市场的影响力,巩固其在全球微纳制造领域的市场地位。
核心业务涵盖:
微纳3D打印、三维微纳加工、无掩膜激光直写光刻、灰度光刻先进封装、光互联纳米制造、光通信芯片制造、光互连EBO设备、光探针制造设备、光纤耦合器件设备、光纤集成微光学器件设备
在微光学母版、衍射光学元件原型开发领域,2GL® 方案已经被很多研发团队采用。相比传统灰度掩模路线,它不需要投入掩模费用,迭代灵活,尤其适合光通信里各类定制化波束整形元件开发。
Q:2GL® 是 2.5D 工艺,能不能做真正复杂 3D 耦合结构?
A:2GL® 主打 2.5D 连续拓扑形貌;如果需要在光纤、芯片表面做 3D 耦合结构原位打印,可选择搭载 A2PL® 的 Quantum X align 机型。
Q:一步成型的多级衍射元件,台阶数量上限是多少?
A:依托四千级以上灰度等级调控,可实现丰富连续高度变化,不限于固定离散台阶,适合连续相位曲面衍射元件。
Q:成型之后可以作为母版复制吗?
A:成型结构具备优异形状精度与表面质量,适合作为电铸母版,后续复制生产衍射光学元件。
2GL® 一步成型多级衍射光学元件,现实意义不只是减少加工步骤,而是消除多次套刻带来的对准误差,让衍射相位设计精准落地;同时降低定制衍射元件开发门槛,助力光通信波束调控、阵列耦合器件的创新研发。